光刻机是什么

2022年6月20日摄影知识282阅读模式

光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机工作原理

光刻机是什么

光刻机是什么

光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

光刻胶是半导体,面板,PCB等领域加工制造中的关键材料。光刻胶是由树脂,感光剂,溶剂,光引发剂等组成的混合液态感光材料。光刻胶应用的原理是利用光化学反应,经光刻工艺将所需要的微细图形转移到加工衬底上,来达到在晶圆上刻蚀出所需的图形或抗离子注入的目的。

光刻机分类

光刻机分类

光刻机分类

光刻的本质就是把临时电路结构复制到硅片上,这些结构首先以图形形式制作在掩模版上。光源透过掩模版把图形转移到硅片表面的光敏薄膜上。

光刻机按照有无掩模,可细分为有掩模光刻机和无掩模光刻机。无掩模光刻机分为电子束/激光/离子束直写光刻机,有掩模光刻机分为接近/接触/投影光刻机。

光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML,日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。

光刻机多少钱一台

对于光刻机多少钱一台的问题,在生产芯片的过程当中,光刻机起到至关重要的作用,光刻机的工艺直接决定了芯片的性能,正因为如此,对于那些高端光刻机来说,一台普通的高端光刻机售价就可以达到几千万美元,而对于目前全球最顶尖的EUV光刻机来说,其售价甚至达到上亿美元。

光刻机多少钱一台
光刻机是干什么用的

对于光刻机是干什么用的,光刻机是用来制造芯片的,光刻机又被称为掩膜对准曝光机,在芯片生产中用于光刻工艺,而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步,所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备。

光刻机是干什么用的

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